數(shù)字氣體流量計(jì)產(chǎn)品類(lèi)型:高精度型,快響應(yīng)型,全金屬密封型,數(shù)字型,抗電磁干擾
產(chǎn)品型號(hào) | CS200C |
產(chǎn)品類(lèi)型 | 高精度型,快響應(yīng)型,全金屬密封型,數(shù)字型,抗電磁干擾 |
流量量程 | 2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
產(chǎn)品精度 | ±0.35%F.S.(<35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.) |
重復(fù)精度 | ±0.2% FS |
線性 | ±0.5% F.S. |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤0.8sec |
工作溫度范圍 | (0~50)°C |
耐壓 | 3MPa |
密封材料 | 金屬密封 Metal |
輸入輸出信號(hào) | (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus |
電源 | ±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC |
閥類(lèi)型 | 常開(kāi)或常閉 |
溫度系數(shù) | Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃ |
零點(diǎn)飄移指標(biāo) | <0.6%F.S. per year without autozero |
電氣連接 | Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male |
工作壓差范圍 | (0.05~0.35) MPa (F.S.≤10slm),(0.1~0.35)MPa(10slm≤F.S.≤30slm) |
漏率 | 1×10-10atm•cc / sec He(1×10-11 Pa•m3 / sec He) |
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套1/4”(滿量程≤30slm),雙卡套Φ3 (僅適用于滿量程≤5slm產(chǎn)品),雙卡套Φ6(僅適用于滿量程≤30slm產(chǎn)品),VCR1/4”,IGS W型,IGS C型 |
表面化學(xué)成分 | CrO thickness >20 Angstroms |
表面粗糙度 | 10µinch |
抗電磁干擾 | CE |
重量 | 1.2Kg |