D07-11C氣體質(zhì)量流量控制器 氨氣流量控制器用途:質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
D07-11C氣體質(zhì)量流量控制器 氨氣流量控制器產(chǎn)品簡介:
★高耐壓性
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★采用DB15型電插頭,標(biāo)準(zhǔn)機械接頭
★CE認證,兼容
D07-11C氣體質(zhì)量流量控制器 氨氣流量控制器用途:
質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
D07-11C氣體質(zhì)量流量控制器 技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號 | D07-11C |
產(chǎn)品類型 | 高耐壓型,抗電磁干擾 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
產(chǎn)品精度 | ±1%F.S. |
重復(fù)精度 | ±0.2% FS |
線性 | ±0.5% F.S. |
響應(yīng)時間 | ≤10sec |
工作溫度范圍 | (5~45)°C |
耐壓 | 10MPa |
密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
輸入輸出信號 | (0~5)VDC |
電源 | ±15V |
閥類型 | - 無 - |
溫度系數(shù) | - 無 - |
零點飄移指標(biāo) | - 無 - |
電氣連接 | D sub 15 pins Male |
工作壓差范圍 | (0.2~0.6) MPa (10slm<F.S.),(0.2~0.8) MPa (F.S.≤10slm) |
漏率 | 1×10-10atm•cc / sec He(1×10-11 Pa•m3 / sec He) |
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套1/8”(滿量程>10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程>10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,VCR1/4”,雙卡套1/4” |
表面化學(xué)成分 | - 無 - |
表面粗糙度 | - 無 - |
抗電磁干擾 | CE |
重量 | 1Kg |