D07-11CM 高氣壓氣體流量計密封材料:氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon
產(chǎn)品型號 | D07-11CM |
產(chǎn)品類型 | 高耐壓型 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
產(chǎn)品精度 | ±1%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.) |
重復精度 | ±0.2% FS |
線性 | ±0.5%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.) |
響應時間 | ≤10sec |
工作溫度范圍 | (5~45)°C |
耐壓 | 10MPa |
密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
輸入輸出信號 | (0~5)VDC |
電源 | ±15V |
閥類型 | 無閥 |
溫度系數(shù) | - 無 - |
零點飄移指標 | - 無 - |
電氣連接 | D sub 15 pins Male |
工作壓差范圍 | <0.02 MPa |
漏率 | 1×10-9atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He) |
標準接頭形式 | 雙卡套1/8”(滿量程>10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程>10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,VCR1/4”,雙卡套1/4” |
表面化學成分 | - 無 - |
表面粗糙度 | - 無 - |
抗電磁干擾 | CE |
重量 | 1Kg |