IGS金屬隔膜閥應(yīng)用于IGS的高純度金屬隔膜閥,采用二次熔煉的SUS316L作為閥體材質(zhì),有多種接口(C-seal和W-seal)可供選擇。
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IGS金屬隔膜閥優(yōu)勢:
• 適合高純度工藝供氣生產(chǎn)線• 閥體材質(zhì)選用二次熔煉的SUS316L,安全可靠• W-seal和C-seal 可供選擇
IGS金屬隔膜閥技術(shù)參數(shù):
尺寸
SEMI F83-03041.125” W seal2 Port
SEMI F84-03041.125” W seal3 Port
SEMI F86-03041.125” C seal2 Port
Cv value( Cv值)
0.24
0.27
大使用壓力
1.0MPa(G)
使用溫度范圍
-10~80℃
外部泄露
≦3x10-12 Pa?m3/sec Helium
閥座泄露
≦3x10-10 Pa?m3/sec Helium
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