氣路系統(tǒng) 氣路盤是七星流量計開發(fā)的氣路輸送系統(tǒng)的解決方案,該產(chǎn)品通過對氣路原理圖的設(shè)計,加工和測試,以隔膜閥,調(diào)壓閥,壓力傳感器,過濾器,MFC等零部件實現(xiàn)對多種工藝氣體的壓力調(diào)節(jié),純度過濾,流量控制等功能,目前市場上常用的為傳統(tǒng)VCR型氣路盤和氣體輸送集成控制系統(tǒng)(Integrated Gas System),即IGS氣路盤,這兩種氣路盤業(yè)務(wù)七星流量計都有能力承接。