D07-19C氣體質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進(jìn)行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計(jì)（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量流量。D07-19產(chǎn)品是七星流量計(jì)研發(fā)精度高、響應(yīng)時(shí)間快的模擬產(chǎn)品。
D07-19C氣體質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進(jìn)行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計(jì)（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量流量。D07-19產(chǎn)品是七星流量計(jì)研發(fā)精度高、響應(yīng)時(shí)間快的模擬產(chǎn)品。
特點(diǎn)
• 高精度，快響應(yīng)型
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 采用DB15型電插頭，標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接頭
• 兼容
D07-19C氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目 | D07-19B | D07-19BM | D07-19F | D07-19FM 型 |
流量規(guī)格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM |
( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM | ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM | ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM | 0~1,2,3,5,10,20,30 SLM | |
準(zhǔn)確度 | ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±1% F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) |
線性 | ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±0.5% F.S. (20,30SLM: ±2% F.S.) |
重復(fù)精度 | ±0.2 % F.S. | ±0.2 % F.S. | ±0.2 % F.S. | ±0.2 % F.S. |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤2 sec | ≤2sec | ≤4 sec | ≤4 sec |
工作壓差范圍 | ≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid) | - | ≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid) | - |
氣壓降 | - | <0.02 MPa (2.9 psid) | - | <0.02 MPa (2.9 psid) |
大工作壓力 | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa |
耐壓 | 3 MPa (435.1 psig) | 10 MPa (1450.4 psig) | 3 MPa (435.1 psig) | 10 MPa (1450.4 psig) |
工作環(huán)境溫度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
輸入輸出信號(hào) | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 4~20 mA 或 1~5 VDC | 4~20 mA 或 1~5 VDC |
電源 | +15 V 50 mA | +15 V 50 mA | 24 VDC 100 mA | 24 VDC 100 mA |
重量 | 0.95 kg | 0.7 kg | 1.2 kg | 1 Kg |
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