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DS300質(zhì)量流量控制器是針對半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的一款適用于半導(dǎo)體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器，用于半導(dǎo)體器件的刻蝕、濺射等工藝。