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技術文章
質量流量控制器為什么要滿足一個壓差?
氣體質量流量單位一般以sccm(StandardbicCentimeterperMinute,每分鐘標準毫升)和slm(StandardLiterperMinute,每分鐘標準升)來表示。這意味著,這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規(guī)定為:氣壓—101325Pa(760mmHg);溫度—0℃(273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min之處。
對多數(shù)用戶而言,體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用,但也有用戶需要知道單位時間內(nèi)流過介質的質量(如g/min),這個要求是很容易實現(xiàn)的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個常數(shù),可以方便地查到,因而簡單地做一個乘法(以密度乘以若干slm)即可實現(xiàn)。所以說,在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質量流量。
需要注意的是,被質量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質量流量單位,不符合國內(nèi)計量標準的常用的質量流量的國際單位(Kg/min),但是它符合國際半導體協(xié)會制定的SEMI國際標準。
質量流量控制器為什么要滿足一個壓差?
很多客戶在使用質量流量控制器(MFC)過程中發(fā)現(xiàn)總不能很好的達到控制流量效果,很多愿意都是沒有達到MFC自生的一個壓差,目前市場上一般MFC的壓差都在50-300Kpa,這個意思就是進口和出口的壓力差小不能低于50Kpa,大不能超過300Kpa,因為MFC自帶電磁比例閥原因,如果壓差太小,氣體壓力就根本不能把比例閥頂開,氣體壓力過大就讓比例閥不能很好進行控制。所以客戶在使用中好先告知進、出口壓力,看看是否能滿足這個差壓50-300Kpa當然有些客戶是有低壓差的需求。
更新更新時間:2021-06-18
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