氣路系統(tǒng)簡(jiǎn)介
氣路系統(tǒng)產(chǎn)品應(yīng)用于光伏及半導(dǎo)體領(lǐng)域,在設(shè)備工藝管路中實(shí)現(xiàn)對(duì)流體的相關(guān)控制(開關(guān)、減壓、過(guò)濾、分流、流量控制等),七星流量計(jì)的氣路系統(tǒng)可根據(jù)客戶需求提供多種解決方案。
氣路系統(tǒng)
應(yīng)用場(chǎng)景
一、半導(dǎo)體領(lǐng)域
在集成電路裝備研發(fā)和制造中,氣路系統(tǒng)肩負(fù)著工藝氣體向腔室的輸送、流量設(shè)定、控制特定工藝過(guò)程的重要任務(wù)。例如調(diào)壓前段供氣的壓力,對(duì)供氣進(jìn)行過(guò)濾器,并且氣路中可能會(huì)直接接觸特氣等介質(zhì),因此對(duì)潔凈度有較高要求。
產(chǎn)品選用半導(dǎo)體高純材料,對(duì)于顆粒度有著嚴(yán)格要求。適用于絕大多數(shù)半導(dǎo)體制程設(shè)備。
二、光伏領(lǐng)域
在光伏裝備研發(fā)和制造中,氣路系統(tǒng)肩負(fù)著向長(zhǎng)晶腔室輸送保壓氣體,保持爐內(nèi)壓力穩(wěn)定的重要任務(wù)。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1、IGS 設(shè)計(jì)能力:七星流量計(jì)為國(guó)內(nèi)多家半導(dǎo)體客戶定制開發(fā)IGS產(chǎn)品解決方案,在IGS的Block-器件拼搭設(shè)計(jì)及選型等方面積累諸多經(jīng)驗(yàn)。
2、全套零部件的解決方案:根據(jù)客戶需求進(jìn)行器件的選,并保證交付的連續(xù)供應(yīng)。
3、高純焊接能力:根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)及ASTM標(biāo)準(zhǔn)搭建,可滿足高純凈半導(dǎo)體級(jí)焊接需求。
大理石平臺(tái)及三坐標(biāo)顯微鏡
焊縫檢測(cè)結(jié)果