DS300簡(jiǎn)介
DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是基于壓力檢測(cè)原理的質(zhì)量流量控制器,流量控制采用壓電閥控制技術(shù)。產(chǎn)品具有零點(diǎn)漂移小,控制流量穩(wěn)定、可靠,響應(yīng)時(shí)間短、精度高的優(yōu)點(diǎn),此外還具有壓力不敏感功能,能夠適用較大的氣源壓力波動(dòng)。產(chǎn)品采用全金屬密封,所有與氣體接觸的零件都經(jīng)過EP處理,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),如刻蝕設(shè)備上。
DS300外觀圖
電源方式
DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)產(chǎn)品采用開關(guān)電源方式,可支持很寬的雙電源(±8~±16V DC)或單電源(+14~+28V DC),客戶可以根據(jù)需要自行選擇。
電氣接頭
DS300壓力式MFC產(chǎn)品的電氣接頭有DeviceNet接頭和D型陽接頭(9針或15針),客戶可以根據(jù)需要自行選擇。
圖1 9針D型陽接頭連接圖
圖2 15針D型陽接頭連接圖
通訊協(xié)議
DS300壓力式MFC產(chǎn)品支持RS485串行通訊與DeviceNet通訊協(xié)議,客戶可以根據(jù)需要自行選擇,其中RS485串行通訊可以用RS485電纜線和相應(yīng)的適配器與電腦進(jìn)行連接。
圖3 DeviceNet連接圖
圖4 RS485連接圖